演讲题目:200GHz震荡频率的CVD石墨烯射频晶体管
主题会场石墨烯在高频电子技术领域的应用
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内容摘要
作为最有希望实现太赫兹工作频率的竞争者之一,石墨烯器件震荡频率(fmax)相对于本征电流增益截止频率(fT)427GHz依然很低,严重制约了它在射频电子领域的应用。我们开发了一种新颖的CVD石墨烯转移方法,避免了转移以及器件制备过程中石墨烯受到有机光刻胶的污染。该方法和湿法腐蚀自对准、T型栅工艺保持完美兼容,有效抑制了器件的寄生效应,器件寄生电阻降低到105 Ωμm,并观察到明显的电流饱和现象,去嵌前后分别为106GHz和200GHz的震荡频率远超已报道水平。我们希望本工作能为石墨烯射频电子的应用奠定基础。